简介

一、技术原理
电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。
电子显微镜由镜筒、真空系统和电源柜三部分组成。镜筒主要有电子枪、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件，这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体；真空系统由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接；电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。
另外，扫描电子显微镜的电子束不穿过样品，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于样品表面上电子束的直径。放大倍数是显像管上扫描幅度与样品上扫描幅度之比，可从几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电子显微镜不需要很薄的样品；图像有很强的立体感；能利用电子束与物质相互作用而产生的次级电子、吸收电子和X射线等信息分析物质成分。
二、应用影响
该台式扫描电子显微镜主要应用在冶金、生物、地质、化工、电子、农业、医学、半导体、材料学等领域，是科学研究和分析的重要工具；也可以满足大专院校和重点高中对微观结构、图像形貌示教的需要。
三、应用范围

本产品适用于冶金、生物、地质、化工、电子、农业、医学、半导体、材料学等领域。

四、技术指标

本技术方案已通过中试，进入生试阶段，可以量产。本产品的相关指标如表1所示：

本产品的应用实例如图1：

工艺流程简介

技术特色

本技术方案的主要优势如下：
主机宽410mm，高570mm，设置面积小，置于桌面，操作观察方便；使用AC220V插座电源，无需传统的冷却循环水；
真空排气采用无油系统，前级泵使用隔膜泵，有利于环保；而主泵则使用涡轮分子泵，抽真空率只需3分钟；
大样品台。最大样口尺寸50mm，最大样品厚度50mm，样品移动范围Ｘ和Ｙ分别为17.5mm左右；
自动化功能使操作极其简单，倍率转换极其顺畅；
观察倍率从15到30000倍，可以获得带阴影的立体像信息。